Gemeinsam mit dem GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung in Darmstadt und der Archigas GmbH aus Rüsselsheim am Main sollen in den kommenden Jahren Nanostrukturen in Mikrosysteme integriert werden, was erhebliche Fortschritte bei der Wasserstoff…
Gemeinsam mit dem GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung in Darmstadt und der Archigas GmbH aus Rüsselsheim am Main sollen in den kommenden Jahren Nanostrukturen in Mikrosysteme integriert werden, was erhebliche Fortschritte bei der Wasserstoff- und Infrarotdetektion verspricht. Im Zentrum steht die nun eingeweihte Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage „eLine“. Das Vorhaben wird vom Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt mit 1,65 Millionen Euro gefördert. Von Physikern und Ingenieuren der …