Mit einem Saugvermögen von 4.500 l/s fürStickstoff eignet sich die neue Turbopumpe für Prozesse in derHalbleiterproduktion, der Großflächenbeschichtung und anderen Anwendungen, bei denen ein hoher Gasdurchsatz erforderlich ist, etwa bei der Evakuierun…
Mit einem Saugvermögen von 4.500 l/s fürStickstoff eignet sich die neue Turbopumpe für Prozesse in derHalbleiterproduktion, der Großflächenbeschichtung und anderen Anwendungen, bei denen ein hoher Gasdurchsatz erforderlich ist, etwa bei der Evakuierung großer Vakuumkammern für die Weltraumsimulation. Plug&Play-Betrieb mit integriertem Controller Die ATH 4506 M verfügt über einen integrierten Controller, der separate externe Steuereinheiten überflüssig macht, die Installation vereinfacht und den für das …