Mit der LDE / LME / LMI Baureihe hat AMSYS nun auch Niedrigstdrucksensoren ab einem Druckbereich von nur 25 Pa im Angebot, die auf der patentierten Micro-Flow Technologie von First Sensor basieren. Dabei wurde die thermischen Massendurchflussmessung m…
Mit der LDE / LME / LMI Baureihe hat AMSYS nun auch Niedrigstdrucksensoren ab einem Druckbereich von nur 25 Pa im Angebot, die auf der patentierten Micro-Flow Technologie von First Sensor basieren. Dabei wurde die thermischen Massendurchflussmessung miniaturisiert in ein nur 2 x 2 mm² großen Siliziumchip durch Mikrostrukturierung integriert. Ihre hohe Sensitivität bei gleichzeitig gutem Überdruckverhalten prädestiniert die LDE/LME/LMI-Sensoren von AMSYS zur Messung von Volumenströmen. Anwendung finden diese Sensoren …