Turbomolekular-Vakuumpumpen, auch Turbopumpen genannt, sind das Herzstück vieler Hightech-Prozesse – von der Halbleiterproduktion bis hin zu Forschungslaboren. Jedoch können schon kleine Fehler bei der Einrichtung oder dem Betrieb zu kostspieligen Sti…
Turbomolekular-Vakuumpumpen, auch Turbopumpen genannt, sind das Herzstück vieler Hightech-Prozesse – von der Halbleiterproduktion bis hin zu Forschungslaboren. Jedoch können schon kleine Fehler bei der Einrichtung oder dem Betrieb zu kostspieligen Stillstandszeiten, Schäden am Equipment oder einem vollständigen Ausfall der Vakuumpumpe führen. In diesem Artikel besprechen wir die zehn häufigsten Fallstricke und zeigen, wie Sie sie vermeiden können. 1. Falsche Auslegung von Hochvakuumleitungen Hochvakuumleitungen und …